維修sankyo三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手0190-52910
收到一套三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手,本體0190-52910,控制柜0190-46909。
客戶說發(fā)生了撞機(jī),沒能檢查出原因。長科維修師傅經(jīng)過拆機(jī)檢查,上電檢測,最終鎖定異常,原因是三軸電機(jī)編碼器和控制柜通訊板發(fā)生了故障。
半導(dǎo)體機(jī)器人可參與的工作內(nèi)容:
1、晶圓粗研磨(雙面機(jī)械拋光)
半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在上下研磨夾具之間,晶圓進(jìn)行旋轉(zhuǎn),同時研磨機(jī)對研磨夾具內(nèi)進(jìn)行磨料送料,進(jìn)行兩面拋光。
2、晶圓氧化處理
半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在擴(kuò)散爐中進(jìn)行熱處理,通過高溫氧化處理使晶圓表面形成氧化層。
3、晶圓清洗
半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在清洗臺上,用化學(xué)藥劑和超純水清洗晶圓,以進(jìn)行下一步高潔凈度、高良率的芯片制造制程。
4、晶圓檢查
半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在晶圓AOI檢測器里,對晶片表面進(jìn)行光學(xué)外觀檢查,檢查晶圓的平整度、厚度與氧化膜厚度。
5、晶圓包裝
半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓進(jìn)行保護(hù)膜覆膜,并將覆膜完成的晶圓被放置在晶圓運(yùn)輸箱中。
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